在正确选择工艺方法、加工规准的前提下，还经常出现造成加工误差超偏、出现不合格产品的问题。造成加工误差超偏的原因很多，经分析，主要有下列几点。

（1）交下误差  校正误差是指工具电极与工作台面（或工件表面）对刀、校正误差太大，即不够垂直，则圆截面的工具电极加工出的圆孔截面会变扁、变长。设工具电极直径为d，与垂直线的夹角为α，则倾斜的工具电极端面刚进入工件时，它在水平面内的截面为一椭圆，椭圆的短轴为原电极的直径d，长轴为d′=d/cosα。此时工件上的椭圆截面尺寸，在周边上还需加上单面放电间隙S′。如果工具电极向下进给深度h，则工件上水平面内加工出的椭圆截面被拉长扩大了一段距离l=h·tanα。如果这一段距离超过允许范围，就会成为不合格产品。

（2）主轴误差  如果机床主轴向下进给的方向与工作台面不垂直，而工具电极校正得比较垂直，则加工时随着加工深度h的增加，圆截面的电极在水平面内被拉长位移了l=htanα的距离，成为长圆形，如果这被拉长的距离超过允许范围，同样也会造成废品。如果一旦出现此类原因，一定重新测试检查机床主轴运动与工作台的垂直度、直线度等，以及数控系统的失动量和定位精度等，只有各项都复测合格，才能减少加工误差。

（3）机床刚度和热变形  机床刚度不好，也会造成加工误差，影响加工质量。因为在电火花放电过程中，存在放电爆炸力，工作液冲抽油有一定的压力。影响最大的是加工面积较大和工具电极质量较大时，在快速抬刀时，加工间隙内瞬时形成局部真空“吸住”工具电极不易向上抬刀，会使主轴“瞬时低头、变形”，造成较大加工误并，反之抬刀后在进入放电状态前，间隙中的工作液会阻止电极接近工件，主轴又会“瞬时抬头”。在工具电极质量较大，瞬时抬刀加速（或横移）时，也需要很大的力来克服惯性滞后，在减速停止运动时，也有很大的过冲惯性力，足以引起加工误差。频繁的抬刀、换速对主轴施加的惯性力和液体阻尼力，使机床刚度对加工误差的影响不能忽视。过去认为电火花加工是不接触加工、无切削力的加工，机床刚度无关紧要的观点是片面的，不全面的。越是精密加工、越是精密级机床，其刚度越是重要，刚度已成为保证高精度、高质量的前提。所以说机床的刚度和热变形也是造成加工误差的重要原因。

（4）工作液的影响  电火花加工必须在工作液中运行，工作液的脏污程度直接影响加工斜度（又称锥度）和加工间隙的大小。而产生斜度的根本原因是放电间隙中的“二次放电”。工作液越脏（即含有大量电蚀产物的工作液）二次放电的机会越多，其加工斜度越大，加工间隙也越大，严重的往往会造成尺寸超差（即加工误差大），所以必须定期更换过滤芯，使用干净的工作液。