镜面电火花加工一般是指加工表面粗糙度值在R_a0.2μm以下的电火花加工。具有镜面的反光效果，其表面变质层厚度均匀、极少有微裂纹，并且有较高的耐磨性和耐蚀性，无需抛光即可用工作的最终表面，要想实现大面积的镜面电火花加工是相当困难的，其难点很多，简介如下。

（1）放电能量的影响  在大面积电火花精加工放电过程中，存在着极间寄生电容，当寄生电容储存了足够多的能量后，间隙电压逐渐升高到击穿电压，才引起火花放电，但此时的放电能量相当于多个放电脉冲能量的叠加，产生的放电蚀坑深度增加，加工表面的失去镜面效果。因此，不能忽略极间电容中储存能量对精加工的影响。

（2）排屑与排气的影响  放电产生的蚀除物（即熔化的金属屑）和产生的有害气体，在精加工极小的放电间隙中是很难进行排屑与排气的，这些放电产生的加工屑会造成二次放电和拉弧、积炭现象。这些不正常的放电极大地降低了加工后的表面质量和加工速度，因此电火花精加工中电极一般进行周期抬刀或旋转、平动、摇动等进行挤压式排屑与排气，有利于减小蚀除产物的影响，有利于提高加工速度，有利于实现类似镜面的电火花加工。

（3）脉冲波形的影响  要想实现镜面电火花加工，目前小面积的镜面加工，均采用精加工、窄脉宽、低峰值电流、高空载电压（一般范围200~300V）的专用脉冲电源。例如新开发的纳生活会级（10-9s）脉冲电源及无电解电容器脉冲电源（即双极性脉冲电源）进行镜面电火花加工，加工表面粗糙度R_a值小于0.01μm的水平。但对于大面积的镜面电火花加工、仍存在很多难点，有待进一步研究解决。