将金属或非金属沉积在模具模膛的表面上，通过扩散作用渗入到模膛表层，改变表面层（渗层）的化学组成和相结构，从而提高模具模膛表面的硬度和耐磨性，这一过程称为表面扩散渗入或化学热处理。表面扩散渗入的特点是：

（1）表面渗层与模体金属的化学成分呈连续变化，结合良好；

（2）扩渗工艺过程不影响模体材料的结构和力学性能；

（3）表面渗层与模体金属的结合实际上是一种复合材料，既发挥了模体材料的高韧性，又获得了表面渗层的高硬度和耐磨性，得到更好的综合性能。

用于模具模膛的表面扩渗处理主要有渗碳、渗氮和渗硼等非金属材料；渗钒、铬和钛等金属元素；复合渗硼和硫技术等；此外，还有液体碳氮共渗（软氮化）等共渗工艺。

液体碳氮共渗（软氮化）工艺具有处理温度低、共渗时间短和适用钢种广泛等优点，可显著提高模具表面的疲劳强度和耐磨性，从而提高模具寿命。