辉光放电过程是在低于压强下的气体内进行。在真空炉中，当发生泄漏时，空气就以炉壳作为阳极，炉内的加热电极作为阴极，如果气压达到某个数值时，气体产生电离，发生弧光放电现象。

   放电的结果会引起热电偶测温信号波动、测温不准、烧坏工件、泄漏点烧坏等。