为实现各种方式的电火花加工，机床带有各种用具，称为机床附件。电火花加工机床配备的各种附件很多，应根据需要配置附件。主要的机床附件有可调节工具电极角度的卡头、平动头、油杯、永磁吸盘、数显光栅尺等。