所谓扩散是物质中原子（或分子）的迁移现象，是物质传输的一种方式。在晶体中的扩散可以这样描述：在热振动和体系能量作用下，晶体的原子从一个平衡位置达到另一个平衡位置的无规迁移现象叫做扩散。

固态扩散根据扩散过程中是否发生浓度变化可分为自扩散（没有其它元素扩散，不发生浓度变化的扩散）和互扩散（伴有浓度变化的扩散）两类。

根据扩散方向是否沿着浓度降低的方向可分为下坡扩散（沿着浓度降低的方向进行的扩散，至使浓度趋于均匀化）和上坡扩散（沿着浓度升高的方向进行的扩散，使某种元素聚集）两类。

根据扩散过程中是否出现新相进行分类，可分为简单扩散和反应扩散两类。简单扩散是指扩散批过程中基体晶格不变，发生或者不发展浓度变化，同时没有瓣相信生的扩散。反应扩散则为通过扩散使固溶体的溶质组元素度超过固溶度极限而形成新相的过程。

固体中的扩散不同于液体和气体，固体中的原子基上有固定的平衡位置，所以原子扩散必须发生原子之间相互交换位置的，使周围原子受到干扰的运动。