化学热处理通常可分为分解、吸收和扩散三个基本过程：

分解过程是渗剂通过一定温度下的化学反应或蒸发作用，形成含有渗入元素的活性原子介原，然后通过活性原子在渗剂中的扩散运动而到达工件的表面；

吸收过程是渗入元素的活性原子吸附于工件表面并发生相界面反应，即活性介质与金属表面发生吸附-解吸过程，结合到固体金属的表面结构中；

扩散过程是指附的活性原子从工件的表面向内部扩散以及扩散到内中的渗入原子与金属反应而形成固溶体或化合物。

综上所述，分解、吸收、扩散三个基本过程几乎是所有化学热处理的基本过程。