电火花加工表面和机械加工的表面不同，它是由无方向性的无数小坑和硬凸边所组成，特别有利于保存润滑油，而机械加工表面则存在着切削或磨削刀痕，具有方向性。两者相比，在相同的表面粗糙度和有润滑油的情况下，电火花加工表面的润滑性能和耐磨性能均比机械加工的表面好。

电火花加工表面粗糙度通常用微观轮廓平面度的轮廓算术平均偏差R_a表示，也有用微观轮廓平面度平均高度值R_z或用微观轮廓平面度的最大高度值R_max表示的。