在工具电极的加工制作过程中，除了必须保证加工精度外，还必须尽可能保证工具电极的精度稳定性，尤其是在加工较细、较薄、较窄或较长的工具电极时，应充分考虑应力变形的因素。因此，要求工具也极加工工艺尽可能合理，否则工具电极的变形将直接影响电火花加工的精度。另外，还要考虑电极材料的刚度及材料的导电性能等情况。