通常，在渗硼前要进行预备热处理。它的作用主要是改善零件的切削加工性和减少渗硼后热处理时的变形量。调质钢最适于做渗硼零件。调质钢渗硼前一般采用正火或调质处理。正火后，细片状的索氏体组织在加热时，渗碳体片溶解得快，减小了硼原子向内扩散的阻力，使渗硼速度加快。调质组织的渗面体呈颗粒状均匀分布，相界面少，过热倾向小，渗硼后淬火时的变形和开裂倾向也小。

对于工具钢，一般采用球化退火工艺，如果供应状态的钢已经适当热处理，就可不必再进行预备热处理。零件渗硼后要否热处理，应视具体要求而定。如果对心部强度要求不高，盐浴渗硼的零件经空冷，粉末渗硼的零件待渗箱出炉后降温到600℃以下，打箱取出零件空冷即可直接使用。

对那些要求心部有一定强度，以加强对渗硼层以承能力，充分发挥其耐磨砂性的零件，渗硼后应进行淬火、回火处理。但应避免采用过高的加热温度和强烈的淬火介质或对硼化物有腐蚀作用的介质（如碱浴）。这是为了尽可能减小变形，防止渗硼层崩落和产生裂纹等。

渗硼后一般采用直接淬火。固体渗硼时也可以采用二次加热淬火。但要注意，盐浴渗硼后立即淬火时，最好在中性盐浴中预冷和熔融渗硼盐中预冷。二次淬火时应在保护气氛或中性盐浴中加热，以防脱硼和氧化。保温时间不宜长，有可能时尽量选用分级或等温淬火工艺方法。

回火温度应根据渗硼件实际服役时的失效形式来决定。如系脆断失效，要适当提高回火温度，如系数剥落失效，要相就降低回火温度。一般来说，应高于低温回火温度，控制心部硬度数HRC45～50左右为宜。